До основних компонентів скануючого електронного мікроскопа належать:
Джерело електронів – тут термічно генеруються електрони за напруги 1-40кВ. Електрони конденсуються в пучки, які використовуються для створення імітованих зображень і аналізу. Можна використовувати три типи джерел електронів. e вольфрамовий дріт, гексаборид лантану та емісійна гармата (FEG)
Лінзи – має кілька конденсорних лінз, які фокусують промінь електронів від джерела через колону у вузький промінь, утворюючи пляму, яка називається розміром плями.
Скануюча котушка – використовується для відхилення променя на поверхню зразка.
Детектор – складається з кількох детекторів, здатних розрізняти вторинні електрони, електрони, розсіяні назад, і дифраговані електрони, розсіяні назад. Функціональність детектора значною мірою залежить від швидкості напруги, щільності зразка.
Пристрій відображення (пристрій виведення даних)
живлення
Вакуумна система
Як і просвічуючий електронний мікроскоп, скануючий електронний мікроскоп не повинен мати вібрації та будь-яких електромагнітних елементів.
